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Caso de estudio · Sistema propuesto · M-Duino 58

Las obleas esperan en una sala blanca. El PLC vigila cada rincón.

Temperatura, humedad y partículas, punto a punto, con alarmas.

22 °Ctemperatura ideal de la sala, dentro de una banda de 18 a 26 °C
30-60 %banda de humedad relativa para las obleas almacenadas
80.000partículas como máximo en 0,028 m³ de aire
2copias de cada lectura: una base de datos de respaldo y un servidor en la nube

Las obleas de silicio esperan en una sala blanca antes del proceso. Cualquier desviación en la sala las puede dañar para siempre.

Por eso la sala se mide en varios puntos, y cada lectura va a dos sitios.

Este caso describe el sistema que Industrial Shields propuso a una empresa distribuidora para las salas blancas de sus clientes de fabricación de semiconductores. Los límites de temperatura, humedad y partículas son los del caso. No cita a la empresa ni a sus clientes, y no publica resultados. Los puntos de medida, los tiempos y los valores de los paneles son ejemplos de una forma habitual de hacerlo.

El reto

El proceso ya es estricto. La sala de almacenaje también lo tiene que ser.

Cada paso de la fabricación de una oblea ya sigue requisitos estrictos. Antes del proceso, las obleas esperan en una sala blanca. La sala tiene que estar siempre dentro de unos límites ajustados: unos 22 °C, entre 18 y 26 °C, con una humedad relativa del 30 al 60 % y pocas partículas. Basta un cambio en un rincón de la sala para dañar los productos, y nadie debería tener que entrar en la sala para comprobarlo.

01

Temperatura en varios puntos

Un sensor junto a la puerta no dice qué pasa al lado de las estanterías. La sala necesita lecturas en distintos sitios.

02

También humedad y partículas

Los sensores de humedad y los contadores de partículas también se reparten por la sala, para que los resultados sean fiables.

03

Alarmas que alguien ve

Cuando un valor sale de su banda, la alarma tiene que verse en el panel, fuera de la sala, y en el servidor que se consulta desde otro sitio.

04

Datos que no se pierden

Cada lectura va a un servidor de base de datos de respaldo y a un servidor en la nube, que se puede consultar desde otro sitio.

Siguiente paso: la iluminación

Los objetivos también incluyen la iluminación de la sala. Una opción posterior es controlarla con un sistema DALI y encender y apagar las luces con un horario para gastar menos energía.

Cómo funciona

Tres tareas para un solo controlador: medir, avisar y guardar los datos.

Cada panel muestra una tarea. Pulsa los botones y mueve los controles. Los paneles son simulaciones ilustrativas: los límites son los del caso, pero los puntos, los tiempos y los valores son ejemplos, no datos de una sala real.

Tarea 1 · Medir

Varios puntos, cada uno con su banda.

Sensores en distintos sitios de la sala leen la temperatura y la humedad. El PLC compara cada punto con la banda del caso, no solo la media de la sala. Si alguien deja una puerta abierta, un punto puede salir de la banda mientras la media sigue pareciendo correcta. Elige un escenario y mira los cuatro puntos. Para ver un día entero de control de clima con alarmas en una sala cerrada, abre el simulador de clima de invernadero y su sala de champiñón (funciona con ESP32 PLC; la lógica de bandas es la misma).

  • Temperatura y humedad en varios puntos
  • Cada punto se comprueba por separado: de 18 a 26 °C, del 30 al 60 % de HR
  • Una alarma cuando un punto sale de su banda
PuertaEstanterías de obleasABCD
Media de la sala00
Peor punto0
Puntos fuera de banda0
Estado de la sala0
DENTRO DE BANDACERCA DE UN LÍMITEFUERA DE BANDA: ALARMA

Eventos (ejemplo)

    Simulación ilustrativa. Valores de ejemplo, sin datos de una sala. Puntos y valores de ejemplo, más rápidos que en la realidad. Las bandas son las del caso: de 18 a 26 °C y del 30 al 60 % de HR. Una forma habitual de hacerlo: el PLC comprueba cada punto por separado, no solo la media.

    Tarea 2 · Avisar

    Una alarma de partículas que un solo pico no dispara.

    Un contador de partículas lee el aire. El límite del caso es de 80.000 partículas en 0,028 m³. El PLC solo da la alarma cuando el nivel se mantiene por encima del límite, enciende una baliza y avisa al panel y al servidor. Una persona la reconoce en el panel, fuera de la sala. Mueve el nivel, añade un pico y reconoce la alarma.

    • Límite de partículas: 80.000 en 0,028 m³
    • Confirmada con varias muestras
    • Reconocida desde fuera de la sala
    límite 80.000
    40
    Última muestra0
    Muestras sobre el límite0
    Alarma0
    Reconocida0
    BAJO EL LÍMITECOMPROBANDOALARMA ACTIVARECONOCIDA

    Eventos de partículas (ejemplo)

      Simulación ilustrativa. Valores de ejemplo, sin datos de una sala. Muestras de ejemplo, aquí una cada pocos segundos. El límite es el del caso: 80.000 partículas en 0,028 m³. Una forma habitual de hacerlo: la alarma salta tras 3 muestras seguidas por encima del límite, para que un solo pico no pare el trabajo, y sigue activa hasta que el nivel vuelve a estar por debajo.

      Tarea 3 · Guardar los datos

      Dos copias de cada lectura, aunque caiga un enlace.

      El PLC envía cada lectura por Ethernet a un servidor de base de datos de respaldo y a un servidor en la nube, que se puede consultar desde otro sitio. Si cae el enlace con la nube o toda la red, el PLC guarda los registros y los envía cuando vuelve el enlace. Corta la red o la nube y mira los contadores.

      • Un servidor de base de datos de respaldo en la red de la planta
      • Un servidor en la nube para vigilar en remoto
      • Registros guardados en la microSD mientras un enlace está caído
      M-Duino 58microSDBase de datosNube
      Registros en la base de datos0
      Registros en la nube0
      Guardados en la microSD0
      Red0
      DOS COPIASNUBE CAÍDA: BASE DE DATOS OKSIN RED: EN LA MICROSD

      Eventos de datos (ejemplo)

        Simulación ilustrativa. Valores de ejemplo, sin datos de una sala. Registros de ejemplo, aquí uno por segundo. Una forma habitual de hacerlo: cada registro lleva la hora del reloj de tiempo real del PLC. Cuando un enlace cae, el PLC guarda los registros en su tarjeta microSD y los envía después. Consulta el registro de datos con tarjeta SD sin conexión (el ejemplo funciona en un ESP32 PLC; el patrón es el mismo).

        Arquitectura del sistema

        ¿Cómo se monitoriza una sala blanca de semiconductores con un PLC?

        Un PLC industrial es el maestro de todos los sensores. Los sensores de temperatura, humedad y partículas van en varios puntos de la sala. El caso elige el bus según el equipo y la distancia: I2C para los sensores cercanos al controlador, RS-485 con Modbus RTU para los sensores repartidos por la sala. Una forma habitual de hacerlo: una salida digital activa una baliza de alarma. Un panel TouchBerry Pi fuera de la sala blanca muestra los valores y las alarmas. Por Ethernet (el caso también admite Wi-Fi), el PLC envía cada lectura a un servidor de base de datos de respaldo y a un servidor en la nube. La iluminación DALI es un paso posterior.

        TouchBerry Pi 10,1"fuera de la sala blancaBase de datosrespaldo, red de plantaServidor en la nubevigilancia remotaEthernetInternetM-Duino 58Ethernet, RTC, microSDSala blancaSensores de T y HRpuntos A a D, RS-485Contador de partículasRS-485, Modbus RTUSensores junto al armarioI2C, cable cortoBuses de sensoresBaliza de alarmasalida digitalIluminaciónDALI, paso posteriorUna disposición posible. El esquema original dibuja los sensores de la sala en I2C; para sensores repartidos por una sala, lo habitual es RS-485.TouchBerry Pi 10,1"fuera de la sala blancaEthernetM-Duino 58Ethernet, RTC, microSDEthernetBase de datosrespaldo, red de plantaInternetServidor en la nubevigilancia remotaSensores de T y HRpuntos A a D, RS-485Bus de sensoresContador de partículasRS-485, Modbus RTUBus de sensoresSensores junto al armarioI2C, cable cortoBus de sensoresBaliza de alarmasalida digitalSalida digitalIluminaciónDALI, paso posteriorDALIUna disposición posible. El esquema originaldibuja los sensores de la sala en I2C; parasensores repartidos, lo habitual es RS-485.
        Buses de sensores (I2C, RS-485)Salida digital (24 Vdc)EthernetInternetDALI (más adelante)
        Señales y datos (ejemplo)
        SeñalEntreTipoFunción
        Temperatura, puntos A a DEntreSensores de la sala → PLCTipoRS-485, Modbus RTUFunciónBanda del caso: de 18 a 26 °C, ideal 22 °C
        Humedad relativa, puntos A a DEntreSensores de la sala → PLCTipoRS-485, Modbus RTUFunciónBanda del caso: del 30 al 60 %
        Sensores junto al armarioEntreSensores → PLC, cable cortoTipoI2CFunciónLecturas al lado del controlador. I2C solo sirve para distancias cortas
        PartículasEntreContador de partículas → PLCTipoRS-485, Modbus RTUFunciónLímite del caso: 80.000 partículas en 0,028 m³
        Baliza y sirena de alarmaEntrePLC → balizaTipoSalida digitalFunciónAlarma local cuando un valor sale de su banda
        Pantalla del operarioEntrePLC ↔ TouchBerry Pi 10,1", fuera de la salaTipoEthernetFunciónValores por punto, alarmas, reconocimiento
        Copia de respaldoEntrePLC → servidor de base de datosTipoEthernetFunciónCada lectura, con la hora del reloj de tiempo real
        Copia remotaEntrePLC → servidor en la nubeTipoEthernet, InternetFunciónVigilar la sala desde otro sitio
        Iluminación (paso posterior)EntreVersión DALI del PLC → bus DALI → luminariasTipoDALIFunciónEncender y apagar con un horario para gastar menos energía

        Por qué este diseño

        Medir donde está el riesgo. Guardar los datos dos veces.

        Lecturas donde están los productos

        Cualquier variación puede dañar las obleas, así que un solo sensor no basta. Varios puntos muestran un rincón malo que la media esconde.

        El bus adecuado para cada distancia

        I2C funciona con cables cortos junto al controlador. RS-485 con Modbus RTU llega a sensores repartidos por la sala y más allá, con muchos equipos en un solo par de hilos. Consulta un ejemplo de Modbus RTU en un PLC M-Duino.

        Margen en el controlador

        El M-Duino 58 tiene 36 entradas y 22 salidas, Ethernet, RS-485 e I2C. La monitorización usa pocas, así que caben puntos nuevos en el mismo controlador.

        Un panel fuera de la sala

        Las personas consultan los valores y reconocen las alarmas en el panel TouchBerry Pi, fuera de la sala blanca. No hace falta entrar para leer un sensor.

        Dos copias de los datos

        Un servidor de base de datos de respaldo en la red de la planta y un servidor en la nube. Si uno de los dos se para, el otro conserva los registros. El reloj de tiempo real y la tarjeta microSD del PLC mantienen la hora y los registros cuando cae un enlace.

        Un código que es tuyo

        El PLC se programa con el IDE de Arduino y librerías de código abierto. Tienes el código de la aplicación, así que lo puedes revisar y cambiar más adelante.

        Hardware propuesto

        Un controlador para los sensores. Un panel fuera de la sala.

        M-Duino 58, PLC industrial Arduino con 36 entradas, 22 salidas y Ethernet para carril DIN

        M-DUINO ETHERNET PLC ARDUINO 58

        Un PLC industrial basado en un Arduino Mega 2560 original, con 36 entradas y 22 salidas, Ethernet, RS-485, RS-232, I2C, reloj de tiempo real y ranura microSD, para carril DIN. En este caso es el maestro de todos los sensores, activa la alarma y envía los datos.

        Función
        Maestro de los sensores, alarmas, datos a la base de datos y a la nube
        Entradas
        36: 16 analógicas o digitales (0-10 V, 10 bits), 20 digitales optoaisladas (de 5 a 24 Vdc)
        Salidas
        22: 8 analógicas, digitales o PWM (0-10 V), 14 digitales optoaisladas (de 5 a 24 Vdc)
        Comunicaciones
        Ethernet 10/100 (W5500), RS-485, RS-232, serie TTL, I2C, SPI
        Integrado
        Reloj de tiempo real, ranura microSD
        Programación
        IDE de Arduino con el paquete de placas de Industrial Shields
        Alimentación y montaje
        De 12 a 24 Vdc, carril DIN TS35, IP20, de 0 a 60 °C

        El caso original muestra fotos del M-Duino 58 y del M-Duino 57R y no cita el modelo exacto. El M-Duino 58 cumple lo que pide el caso. El caso envía los datos por Ethernet o Wi-Fi. El M-Duino 58 lleva Ethernet integrado; para Wi-Fi, la familia tiene versiones Wi-Fi & BLE (consulta la ficha técnica de la familia M-Duino Wi-Fi & BLE), y para la iluminación DALI, versiones DALI (ficha técnica de la familia M-Duino DALI).

        Panel PC TouchBerry Pi de 10,1 pulgadas, panel táctil industrial con Raspberry Pi 4

        TouchBerry Pi Panel PC 10.1" FLEX

        La pantalla táctil fuera de la sala blanca: una Raspberry Pi 4 detrás de una pantalla táctil capacitiva de 10,1", conectada al PLC por Ethernet. Muestra los valores de cada punto y las alarmas, y aquí se reconocen las alarmas.

        Función
        Valores por punto, alarmas, reconocimiento, fuera de la sala
        Pantalla
        10,1" IPS, 1280 x 800, capacitiva, 900 nits
        Frontal
        IP20, o IP65 en la versión FLEX
        Software
        Linux preinstalado: panel de Node-RED, Python o un navegador
        Comunicaciones
        Ethernet Gigabit, 4 USB, un puerto serie (RS-485, RS-232 o TTL)
        Alimentación
        De 12 a 24 Vdc, SAI para un apagado seguro

        El caso original enlaza al Panel PC de 10,1". El modelo actual es el TouchBerry Pi Panel PC 10.1" FLEX.

        Preguntas sobre este caso

        ¿Qué condiciones necesita una sala de almacenaje de obleas de semiconductores?

        En este caso: una temperatura ideal de 22 °C, siempre entre 18 y 26 °C, una humedad relativa entre el 30 y el 60 %, y no más de 80.000 partículas en 0,028 m³ de aire. Son los límites de este caso. Cada planta fija los suyos según sus productos y su proceso.

        ¿Cuántos sensores necesita una sala blanca, y dónde?

        Más de uno. Cualquier variación puede dañar los productos, y un sensor junto a la puerta no muestra lo que pasa al lado de las estanterías. Una forma habitual de hacerlo: poner puntos junto a la puerta, junto a la impulsión de aire, al lado de las obleas almacenadas y en el rincón más alejado, y comparar cada punto con su banda. El PLC da la alarma cuando un punto sale de su banda, aunque la media sea correcta.

        ¿I2C o RS-485 con Modbus RTU para los sensores de una sala blanca?

        Depende del equipo y de la distancia, como dice el caso. I2C es un bus de distancias cortas para sensores cercanos al controlador. RS-485 con Modbus RTU es un bus diferencial para cables más largos: hasta unos 1.200 m a velocidades bajas y hasta 32 cargas unitarias en un segmento. El M-Duino 58 tiene los dos. Consulta el bus I2C en un PLC basado en Arduino y un ejemplo de Modbus RTU en un PLC M-Duino.

        ¿Cómo se compara un límite de 80.000 partículas en 0,028 m³ con las clases de la ISO 14644-1?

        0,028 m³ es aproximadamente un pie cúbico. 80.000 partículas en 0,028 m³ son unos 2,8 millones de partículas por m³. La ISO 14644-1 clasifica las salas blancas por partículas por m³ para cada tamaño: la clase ISO 8 admite 3.520.000 partículas de 0,5 µm o más por m³, y la clase ISO 7 admite 352.000. El caso no indica el tamaño de partícula, así que comprueba el tamaño y la clase con tu proceso.

        ¿Qué pasa con los datos si cae la red?

        El caso envía cada lectura a dos sitios: un servidor de base de datos de respaldo y un servidor en la nube. Una forma habitual de hacerlo: si un enlace cae, el PLC guarda los registros en su tarjeta microSD, con la hora de su reloj de tiempo real, y los envía cuando vuelve el enlace. El historial de alarmas también puede estar en una base de datos junto al panel. Consulta el historial de alarmas en MySQL con Node-RED.

        ¿El mismo PLC puede controlar la iluminación de la sala blanca con DALI?

        Sí, como paso posterior, con una versión DALI de la familia M-Duino. El M-Duino 58 Ethernet de este caso no tiene bus DALI, así que la iluminación necesita la versión DALI o un controlador DALI aparte. El caso propone DALI para encender y apagar las luces con un horario y gastar menos energía. DALI (IEC 62386) es un bus de iluminación de dos hilos con hasta 64 equipos direccionables por línea. Las versiones DALI se describen en la ficha técnica de la familia M-Duino DALI.

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